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東莞金研精密四工位CMP拋光機(jī)KD36QS4
產(chǎn)地:東莞
品牌:東莞金研
編碼:
生產(chǎn)企業(yè):東莞金研精密研磨機(jī)械制造有限公司
東莞金研精密四工位CMP拋光機(jī)KD36QS4產(chǎn)品特色:可對(duì)應(yīng)高精度少量的研磨加工。

一、東莞金研精密四工位CMP拋光機(jī)KD36QS4產(chǎn)品特點(diǎn)

1、東莞金研精密四工位CMP拋光機(jī)KD36QS4配置伺服修盤(pán)系統(tǒng),確保磨盤(pán)足夠的平坦度。

2、東莞金研精密四工位CMP拋光機(jī)KD36QS4采用磨盤(pán)在線(xiàn)檢測(cè)恒溫系統(tǒng),防止工件變形及脫片。

3、東莞金研精密四工位CMP拋光機(jī)KD36QS4采用多段貨柔性加壓系統(tǒng),滿(mǎn)足復(fù)雜的加工工藝要求。

4、東莞金研精密四工位CMP拋光機(jī)KD36QS4配置數(shù)字化加液系統(tǒng),減少磨液損耗。

5、東莞金研精密四工位CMP拋光機(jī)KD36QS4采用四工位獨(dú)立變速控制系統(tǒng)。

二、東莞金研精密四工位CMP拋光機(jī)KD36QS4應(yīng)用領(lǐng)域

東莞金研精密四工位CMP拋光機(jī)KD36QS4主要應(yīng)用于半導(dǎo)體材料、精密光學(xué)、晶體材料等研磨加工。

1、半導(dǎo)體材料包括Si、Ge、GaAs、藍(lán)寶石、SiC、InP、GaN、MEMS、陶瓷基板等。

2、精密光學(xué)包括光學(xué)晶體、光學(xué)鏡頭、玻璃基板、ITO玻璃、藍(lán)寶石玻璃、濾波材料等。

3、晶體材料包括鈮酸鋰、鉭酸鋰、YAG、石英、紅外材料等。

三、東莞金研精密四工位CMP拋光機(jī)KD36QS4技術(shù)參數(shù)

型號(hào)

單位

KD24QS4

KD36QS4

磨盤(pán)尺寸

mm

?630

?910

工件盤(pán)外徑

mm

?248

?360

磨盤(pán)轉(zhuǎn)速

rpm

0 - 110

5 - 90

主電機(jī)功率

KW

4.5

15

氣壓

MPa

0.6

0.6

總功率

KW/380V

9.5

16

毛重

kg

2400

3650

外形尺寸(L*W*H

mm

1200 * 1350 * 2250

1360 * 1330 * 2650


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