自由曲面、平面、輥、微透鏡陣列等的微加工示例。
自由曲面、大面積和超小透鏡。
清晰的處理結果。
○自由曲面上的微加工（或創(chuàng)建高級且復雜的自由曲面）
■自由曲面的微小溝槽加工（自由曲面正弦曲線加工）
使用3個線性軸（X、Y、Z）和3個旋轉軸（B、C1、C2），
可以直接在刀具表面上加工自由曲面上的各種精細形狀。工件材料：化學鍍鎳磷
■自由曲面的微小溝槽加工（自由曲面光柵加工）
在寬度為 20 mm 的自由曲面（徽標部分）上創(chuàng)建 10,000 個深度為 1 μm、節(jié)距為 2 μm 的微小凹槽
。槽距精度在±0.15μm以內(nèi)。工件材料：化學鍍鎳磷
○大中型區(qū)域的各種微細加工
■適合制造大型光學薄膜、鏡片模具等。
我們擁有開發(fā)最大加工面積為 φ700 或 1600 x 900 mm 的機器的記錄。從大型導光板、反射板、偏光片等光學薄膜到大型透鏡模具，我們都能加工。
■1μm方錐加工
微細溝槽加工的精度表現(xiàn)在加工前后、左右的交叉點上。
即使進行 1μm 方錐加工，也能實現(xiàn)銳利的交點。工件材質(zhì)：NiP鍍層
■光學片模具樣品（微細V槽加工）
使用 90°V 切削刀具創(chuàng)建 40,125 個深度為 2 μm、節(jié)距為 4 μm 的凹槽。刀具傳送到工件的結果表明，XZ 軸的插補精度約為 20 nm。
■光學片模具樣品（細V槽sin曲線加工）
使用 90°V 切削刀具創(chuàng)建 10,000 個深度為 1 μm、節(jié)距為 2 μm 的凹槽。根據(jù)刀具傳送到工件的結果，XYC 軸的插補精度約為 150 nm。
○超小型透鏡加工（φ500μm以下或高深寬、廣域微透鏡陣列加工）
■最小限度的透鏡加工（超小型、高深寬比微透鏡加工）
我們利用具有超低振動和恒溫控制的獨特加工系統(tǒng)，實現(xiàn)了從 φ50μm 到 φ500μm 的極小透鏡加工。此外，還可以進行超高深寬比的透鏡加工。
■大面積的極小透鏡加工（達到A4尺寸）
能夠加工大面積的微透鏡陣列。記錄數(shù)量高達 350,000 件。刀具磨損極小，并且可以實現(xiàn)超高質(zhì)量的加工。表面粗糙度：Ra2.1nm、Rz15.3nm。
特征
我們的目標是“零轉錄錯誤”。
最大限度地追求機器精度和重復性。
利用 1.1 納米分辨率和
加工點壓倒性的可重復性來控制值的可跟蹤性。
以“零傳輸誤差”為目標的終極納米加工機。 X，Y，Z和C1軸采用了多年的納米機發(fā)育，通過多年的納米機發(fā)育進行了徹底完善的非接觸式靜水壓指南。在納米級命令值的處理點上，在處理點上實現(xiàn)了極好的后續(xù)性能和壓倒性的可重復性。
2. 兼顧高速進給和高質(zhì)量加工。
獨特開發(fā)的超精密直線電機驅(qū)動系統(tǒng)。
獨特開發(fā)的超精密直線電機用于驅(qū)動X軸和Y軸執(zhí)行器。此外，每臺機器都能夠安裝在 Z 軸（上下）（OP）上。 X、Y軸進給速度為25m/min，Z軸進給速度為1m/min。在提高各個同步運動精度的同時，能夠以比以前更高的速度實現(xiàn)更高質(zhì)量的加工。
3.六軸聯(lián)動控制多種加工。
新開發(fā)的刀具旋轉軸（B，C2）可同時同時進行6軸控制（OP）。實現(xiàn)自由曲面上兩個方向的垂直加工，這是傳統(tǒng)機床不可能實現(xiàn)的。通過將1納米分辨率進給的X、Y、Z軸與工件旋轉軸C1軸同步，可以對模具表面進行透鏡、照明等各種加工。
4. 基于精確結構分析的機械設計。
床、鞍座、桌子、立柱等均具有經(jīng)過高度計算和經(jīng)驗支持的高剛性結構。設計盡可能融入熱對稱結構的設計原理，并考慮到長期加工和周圍溫度環(huán)境的變化。
5.超精確的油溫和切削液溫度管理。
實現(xiàn)以0.001（標準規(guī)格）或0.0001（OP）為單位的超精密油溫控制。徹底抑制溫度變化引起的機械姿態(tài)和軸變化。此外，切削液或霧液的溫度穩(wěn)定控制在加工點附近的±0.1℃（標準規(guī)格）。此外，我們還能夠從 Nanovac 產(chǎn)品 (OP) 中選擇并提供與客戶想要執(zhí)行的加工相匹配的加工液。
7. 10年后精度和數(shù)值保持不變。
由于采用非接觸式引導面，因此即使長期使用，精度的下降也很小。此外，蓋環(huán)大量使用SUS，因此即使使用多年也能保持美觀。
8.我們?yōu)槟镜奈⒓庸ぬ峁┤嬷С?，包括隔振、環(huán)境溫度、測量和CAD/CAM 。
為了進行高度可重復和高精度的微加工，有必要設計和構建一個“加工系統(tǒng)”來捕獲整個加工過程，而不僅僅是一臺機器。由此，Nagase 提出了一套包括隔振臺、腔室、測量設備和適合微加工的 CAD/CAM 的套件。詳情請參閱下面的選項欄。
■加工30nm溝槽時縱軸重復精度為2.7nm
■加工點步進精度10nm
■使用直線軸（X、Y、Z軸）和工件旋轉軸（C1軸）進行加工。
C1軸超精密分度重復定位精度為0.189秒。
■由于具有超低振動特性，因此可以安裝ZYGO等白色干涉儀，在機器上進行非接觸式表面形狀測量。
咨詢電話：13522079385
選項：
構建獨特的處理系統(tǒng)
需要許多技術和想法：
■超精密主動隔振系統(tǒng)“納米穩(wěn)定器”
即使在獨立基礎上，為了消除約 30 至 50 nm 的外部干擾，也可以采用采用三點支撐的伺服加速度反饋控制的主動隔振系統(tǒng) (OP)。
■超精密環(huán)境溫度控制系統(tǒng)“Nano Enviror”
為了抑制加工機械本身的變形和工件的熱變形，溫度以1/100℃或1/1000℃為單位進行控制。我們提供超精密固定型和易于安裝的簡單型，該型采用廣泛的隔熱材料以實現(xiàn) 24 小時 23°C ± 0.1°C 的溫度。
■超精密刀具形狀測量裝置“Nano Eye”
以亞微米分辨率測量旋轉工具?？梢宰詣訙y量刀尖位置和直徑以及各種類型的刀具跳動測量。測量數(shù)據(jù)可通過數(shù)值輸出和視覺輸出（OP）進行確認。
■支持非球面加工等的CAD/CAM軟件“CAP-nano1”。
我們豐富了加工支持的數(shù)值計算軟件，最大限度地減少對工人技術技能的依賴。它還與非球面等功能表面兼容，并且可以通過輸入功能公式（OP）輕松轉換為CAD/CAM程序。
規(guī)格：
型號/項目 尺寸 卡盤尺寸 工作臺工作區(qū) 行程工作臺
（Y軸）x十字（X軸） X、Y、Z（垂直）
軸最小單位 工件旋轉/刀具旋轉軸 X軸/Y軸快速移動速度 機器重量
毫米 毫米 毫米 納米 °（度） 米/分鐘 噸
尼克 300 φ350 φ350 400×650 1 0.000001 20 11
300α φ350 φ350 500×500 1 0.000001 (0.000002) 20 16
700 φ600 700×700 800x800 1 0.000001 25 16
1408 1400×800 1400×800 1750x1000 1 0.000001 25 30
1509 1500×900 1500×900 1800x1210 1 0.000001 25 33
1609 1650×900 1650×900 1800x1210 1 0.000001 25 34
