斐索干涉儀是一種原理為等厚干涉，用以檢測光學(xué)元件的面形、光學(xué)鏡頭的波面像差以及光學(xué)材料均勻性等的精密儀器。其測量精度一般為/10～/100,為檢測用光源的平均波長。
對于光學(xué)表面的非接觸式測試，可以使用Fizeau干涉儀，下文將對此進(jìn)行描述。斐索干涉儀主要測量參考表面和被測表面之間的光程差OPD。
拆機(jī)分析發(fā)的zygo干涉儀
干貨~ZYGO Fizeau干涉儀拆機(jī)~
就是斐索Fizeau結(jié)構(gòu)的。
1\菲索干涉儀的原理
斐索干涉儀原理為等厚干涉，用以檢測光學(xué)元件的面形、光學(xué)鏡頭的波面像差以及光學(xué)材料均勻性等的一種精密儀器。其測量精度一般為/10～/100,為檢測用光源的平均波長。常用的波面干涉儀為泰曼干涉儀和斐索干涉儀。
斐索干涉儀有平面的和球面的兩種，前者由分束器、準(zhǔn)直物鏡和標(biāo)準(zhǔn)平面所組成，后者由分束器、有限共軛距物鏡和標(biāo)準(zhǔn)球面所組成。單色光束在標(biāo)準(zhǔn)平面或標(biāo)準(zhǔn)球面上，部分反射為參考光束；部分透射并通過被測件的，為檢測光束。檢測光束自準(zhǔn)返回，與參考光束重合，形成等厚干涉條紋。用斐索平面干涉儀可以檢測平板或棱鏡的表面面形及其均勻性。用斐索球面干涉儀可以檢測球面面形和其曲率半徑，后者的測量精度約1微米；也可以檢測無限、有限共軛距鏡頭的波面像差。
和泰曼一格林干涉儀一樣，斐索(Fizeau)干涉儀也是采用了振幅分割法：使入射光垂直于反射面射入．即I=0，保持入射角恒定，產(chǎn)生等厚干涉條紋，用以測量光學(xué)元件的誤差。
下圖顯示了測試球面的典型Fizeau設(shè)置。小的相干單色光源被放置在第一準(zhǔn)直器的前焦點(diǎn)F1處。平面波陣面離開準(zhǔn)直器，隨后的分束器將波陣面分為透射部分和反射部分。分束器可以是具有部分反射和防反射涂層表面的平面平行板，或者是承載小楔的板。當(dāng)測試小型光學(xué)部件時(shí)，分束器立方體也很有用。不需要的反射然后可以被光束光闌阻擋，如下所述。從分束器反射的光不用于干涉儀，必須被吸收材料阻擋。
透射光進(jìn)入所謂的透射球，該透射球形成高質(zhì)量的球面波陣面，朝其后焦點(diǎn)F'會聚。透射球包括與會聚波前同心的最終球面，其中心CR與F'重合。該曲面稱為參考曲面或斐索曲面。由于它沒有被涂覆，它導(dǎo)致透射光的一部分被反射。由于透射波前和參考表面的同心度，返回光主要遵循相同的光路。
圖：通過透射球測試球面的斐索干涉儀示意圖。
其中定位有承載小孔徑F2'的不透明光束光闌。它可以讓參考波和測試波通過，但可以阻擋來自設(shè)置其他表面的錯(cuò)誤和不必要的反射以及雜散光。
2\菲索干涉儀的優(yōu)點(diǎn)
參考表面和測試表面之間沒有接觸（避免接觸而造成損壞或劃痕）
每個(gè)傳輸球體可以測試不同半徑的各種凸面或凹面
除了參考表面之外的系統(tǒng)元件的質(zhì)量是次要的，因?yàn)閰⒖脊馐臀矬w光束的光學(xué)路徑幾乎相同
連接到相機(jī)的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)可以通過數(shù)字方式評估干涉圖，從而將表面偏差的分辨率提高到目視的1000倍。
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