振蕩運動的驅動系統(tǒng)
產生超精研磨所需的振蕩運動，有各種驅動系統(tǒng)可以選擇：
電動方式：
在這種情況下，電機的旋轉運動通過恒定或可調節(jié)的凸輪或搖桿（曲柄滑塊機構）轉換為振蕩運動。
氣動方式：
壓縮空氣的連續(xù)流動將往復式活塞設置為振蕩運動，即活塞在移動時打開和關閉氣缸中的控制端口，從而自動啟動活塞方向的改變。該系統(tǒng)的特點是兩個裝置反向振蕩（活塞和氣缸）。由于這種類型的驅動器不包含高應力機械部件，也不需要額外的控制裝置，因此免維護是其最大特點。
液壓方式：
振蕩運動由往復式活塞產生。振蕩的頻率（1至42赫茲）和振幅（0至3毫米）通常可以在加工過程中根據需要進行調整。
超精裝置的設置
超精研磨裝置的閉合壓力通常由氣缸（圖35）或可調彈簧組件產生。液壓方式的驅動也是可行的，但由于產生額外的成本，往往僅應用于機床。刀具磨損，特別是對于超精研磨油石，在25至65 mm的行程內自動補償。如采用拋光砂帶，其寬度通常為5至300 mm，長度為1至300米，在加工過程中砂帶連續(xù)進給，磨損區(qū)域被卷取或剪掉，也可以循環(huán)更換。由于刀具厚度幾乎保持不變，因此在這種情況下不需要補償行程。
（圖35： 氣動方式驅動的拋光附件）
拋光附件的控制系統(tǒng)
根據產生振蕩運動的驅動系統(tǒng)，需要配置一個簡單的氣動或電氣控制系統(tǒng)。氣動和電氣控制系統(tǒng)通常安裝在拋光附件上，通過現場的電源供應或壓縮空氣系統(tǒng)提供動力。液壓方式啟動的拋光附件，如弧形和線性振蕩裝置，通常僅用于超精研磨加工，因為控制系統(tǒng)和能源供應更為復雜。
拋光附件的安裝
超精研磨附件主要用于現有車床、磨床或銑床。取決于附件的重量和尺寸，附件由工具的數量和重量決定。它既可以固定在機床的刀架上（圖36），也可以安裝在機床支架上。
（圖36：安裝在車床內的拋光附件）
如果工件不可能或不希望放置在機床中，可以直接安裝在相應的拋光附件中，例如，印刷行業(yè)的壓光輥。為此，索菲納專門為此類工件設計了適用的線性單元、支架或拋光裝置（圖37）。
（圖37：壓光輥的拋光附件）
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工件的夾持方式
無論是在機床還是在拋光附件上進行超精研磨，工件在任何情況下都處于旋轉運動狀態(tài)。只有在特殊情況下，如維修船用柴油發(fā)動機的大型曲軸時，工件才固定在曲軸箱中，拋光附件繞工件旋轉拋光。工件必須處于相對于拋光附件的特定位置，并在加工過程中保持在該位置。根據工件的幾何形狀，機床中會使用各種夾持方式。
當沒有中心孔的工件夾緊在卡盤或卡座中時，最常用的方法是在頂尖之間夾緊（圖38），非常簡單和快速。平面工件則固定在機床工作臺上或機床夾具中。
（圖38：采用兩個頂尖夾持工件）
